摘要:干净厂房是我国的耗能大户之一。据不完整统计，干净室的能耗是一般写字楼的10~3O倍。我国的8英寸芯片厂，干净室单位面积能耗比美国同类型工厂高15%（美国耗能1.28kw/m2~2.63kW/m2,而我国耗能1.48kW/m2~1.93kW/m2）。以上海某闻名芯片厂为例，其全年耗电量的51%是用于干净室运转及相关的维护，假设将这51%的能耗合理降低，对企业来说就意味着利润的增加。
因此，干净室下流相关职业企业越来越注重干净室的节能问题。这就恳求干净室工程职业企业，从客户需求启航，从规划理念、制作......
干净厂房是我国的耗能大户之一。据不完整统计，干净室的能耗是一般写字楼的10~3O倍。我国的8英寸芯片厂，干净室单位面积能耗比美国同类型工厂高15%（美国耗能1.28kw/m2~2.63kW/m2,而我国耗能1.48kW/m2~1.93kW/m2）。以上海某闻名芯片厂为例，其全年耗电量的51%是用于干净室运转及相关的维护，假设将这51%的能耗合理降低，对企业来说就意味着利润的增加。
因此，干净室下流相关职业企业越来越注重干净室的节能问题。这就恳求干净室工程职业企业，从客户需求启航，从规划理念、制作施工、设备装备及运转等各个方面停止节能规划，只需采取全方位的节能技能，整个干净室职业才华继续、良性展开。
空气分子污染AMC作为IC工厂最关怀的问题于20年前最先由日自己提出，近年来，国际Ic卡技能展开疾速，IC芯片日益微型化，目前曾经有赢径为0.4lilln的国际最小的非触摸型无线射频辨认芯片。AMC对当前的IC消费其潜在的污染比粒子污染要普遍多，粒子污染操控只需求肯定粒径及个数，但对AMC操控而言，除了受芯片线宽的削减而变化外，并受工艺、工艺设备、工艺材料及传送体系等的影响。
更有甚者用于某一工序的各种工艺材料（化学品、特种气体等）在许多情况下其微量的分子剩余对下一工序常常或许就是污染物。因此，IC消费过程中的某些加工工序及工序问的材料传送和存放环境中，AMC已成为严重影响废品率的重要问题，AMC分子操控技能成为干净室规划与施工建立的干流趋向。目前，国内的干净室工程职业企业中曾经开端从事此方向的研讨。
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