摘要:检查空态洁净室和安装的设备是否符合设计，至少要检查下列各点：
1、洁净室设备的成套性；
2、一切能源载体和工艺介质的供应（水、电、蒸汽、压缩空气、气体等）是否符合设计；
3、公用和辅助设备功能运转是否正确；
4、所以控制系统，监控器，报警和警报器等的检定（检查）日期；
5、安装质量；
6、安装过滤器（最终过滤器）的完整性；
7、电源和设备是否有备份，其中包括空气处理设备的风量余量；
8、压差；
9、气流特性（单向气流——流速，均匀性和气流方向）；
10、维护结构的密闭性；
11、检查循环空气与室......
检查空态洁净室和安装的设备是否符合设计，至少要检查下列各点：
1、洁净室设备的成套性；
2、一切能源载体和工艺介质的供应（水、电、蒸汽、压缩空气、气体等）是否符合设计；
3、公用和辅助设备功能运转是否正确；
4、所以控制系统，监控器，报警和警报器等的检定（检查）日期；
5、安装质量；
6、安装过滤器（最终过滤器）的完整性；
7、电源和设备是否有备份，其中包括空气处理设备的风量余量；
8、压差；
9、气流特性（单向气流——流速，均匀性和气流方向）；
10、维护结构的密闭性；
11、检查循环空气与室外空气的比例是否符合设计；
12、表面洁净度；
13、包装中是否有备件。
检查HEPA（ULPA）过滤器的完整性具有重要意义，此项检查对ISO6级、ISO5级及更高级别的净化车间来说尤其必要。应检查表面洁净度及维护结构的密闭性（对ISO1级~ISO5级的洁净室特别重要）。
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