洁净室基础知识

1、洁净室：就是指空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生滞留粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。（《洁净厂房设计规范》（GB50073-2001））

2、洁净室适用场景：航空航天、芯片、半导体、医疗、光电子、工业等科研和实践场景。

例如：由于半导体工业所制作的集成电路元件尺寸越来越小，在一块小小的芯片上，整合了许许多多的元器件，因此在制造的过程中就必须防止外界杂质污染源(包括尘埃、金属离子、各类有机物等)，因为这些污染源可以造成元器件性能的劣化及产品成品率和可靠性的降低。所以制造集成电路必须在洁净的环境中进行，以尽量将污染源和硅片隔离。空气中的尘埃状况复杂，分布情况和粒径大小。

尘埃粒子的直径分布

3、尘埃产生途径：根据GB50073-2001的规定，35%由人员因素造成、25%由生产过程产生、25%由设备运转产生、8%由原料中带入、7%由空气中漏入。

4、尘埃去除途径：目前主要是通过空气过滤器组合来实现，具体流程如下所示。

洁净室管理原则

1、不将灰尘带入：过滤器本身及外框无漏风；洁净室需保持一定的正压；作业人员需穿接警服并经风淋；带入的工具、材料等必须擦洗干净。

2、不让灰尘产生：正确穿着洁净服；不使用容易发尘的物品及材料；减少不必要的人员走动；不用的物品严禁带入。

3、不让灰尘堆积：清扫作业不留死角，特别是不易清扫的角落和设备周围；尽量减少风管、配管暴露于洁净室内；实施标准化的清扫作业。

4、迅速排除灰尘：增大换气次数；设备发尘部位应有排气；室内的气流形式应使得灰尘难以在产品上附着。

洁净室内注意事项

1、洁净室内禁止跑动，走路时禁止拖防静电鞋；

2、禁止闲聊、吵闹、大声叫人；

3、个人用品及食物禁止搬入洁净室内；

4、搬入资材及易耗品等产生物品时必须通风风淋合格箱进行洗洁作业后再搬入；

5、化妆或涂指甲油的人禁止出入；

6、防静电帽、防静电服外露出头发、眼眉，一般服装不正确时立即到更衣室点检着装之后再次通过风淋室后入室；

7、防静电手套及手指套被破损或手污染时立即更换新的使用；

8、作业时防静电帽、防静电服及防静电鞋破损或受污染时更换新的使用；

9、开始作业时、终了时，休息时间过后要用滚筒架清扫作业台及周边；

10、作业台上禁止防止不必要的物品；

11、禁止在洁净室内从事与工作内容无关的事项；

12、完成工作后整理、整顿作业台、尺工具及周围后退室。